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全尺寸SiC復合材料包殼管化學氣相沉積的裝置

856   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:02:28
本發明屬于核包殼材料制造技術領域，具體涉及一種全尺寸SiC復合材料包殼管化學氣相沉積的裝置。旋轉電機放置于爐蓋上方，下方與吊掛架相連，保溫上蓋、外保溫層和石墨底座共同組成保溫室，石墨底座放置于爐底上方，加熱體位于外保溫層和內桶之間，內桶放置于加熱體和全尺寸碳化硅包殼管之間，吊掛架穿過吸氣管下端與全尺寸碳化硅包殼管連接，導氣管位于內桶上方，進端通過保溫上蓋通入沉積室，出端與外部真空管道相連，吸氣管進端位于全尺寸碳化硅包殼管上方，出端與外部真空管道相連，測溫熱偶放置于每段加熱體內和內桶之間，每個測溫熱偶均與測溫控溫表相連，進氣管位于沉積裝置的下方和側方。本發明填補了全尺寸SiC復合材料包殼管制備技術空白。
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聲明：
“全尺寸SiC復合材料包殼管化學氣相沉積的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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