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化學機械研磨裝置用研磨漿調制供給裝置和方法

1184   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:02:27
提供一種研磨漿調制供給裝置及方法,即使在從暫時停止的狀態再開始供給研磨漿時的初始階段,也可以高精度地維持研磨漿的混合比例。該研磨漿調制供給裝置包括分別用于吸引所述各液的對應于各液數目的吸引口、以及向化學機械研磨裝置供給研磨漿的排出口;在從各吸引口至排出口的各液的供給路徑上,從各吸引口按基于混合比例的特定量吸引各液,分別配置用于將吸引出的各液向排出口側排出的供給泵,在各個供給泵的排出側供給路徑上同時設置阻尼器和加壓閥,而且,設置用于測定來自設置于這些下流側的各供給泵的排出量的流量計,以及使用來自該流量計的測定值來控制供給泵的排出流量的運算-控制電路。
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