用于生理體液多指標聯合檢測的半導體芯片及系統,屬于半導體傳感器及其檢測系統和生物醫學檢驗領域。本發明利用免疫分析、半導體器件物理及其工藝,實現多種生理指標的無標記聯合檢測,并具有尋址功能。其中,在p型Si襯底的下表面制作有光源腔,二氧化硅層和氮化硅層由下至上依次位于p型Si襯底上;氮化硅層上表面制備有左旋多巴敏感膜;光源陣列芯片上的光源點嵌入光源腔內部,實現光源點與敏感單元的對準,具有高精度光尋址的優點;芯片的測控系統包括,電化學工作站、鎖相放大器、光源控制器、電腦。本發明的半導體芯片及系統,其點樣過程采用微流體技術,有利于降低點樣成本;檢測過程具有無標記的特點,可將生理體液的多種被測生理指標轉化為工作電極與對電極之間的電信號,并實時采集與記錄;同時,由于采用了左旋多巴敏感膜,具有較好的生物兼容性。
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