本發明涉及氧碘化學激光器光學諧振腔調節與監控系統及方法,包括:主控模塊、算法模塊、數據采集模塊、電機控制模塊、數字I/O模塊、電機驅動數字I/O模塊、通訊模塊、顯示單元和電源模塊;方法包括主控模塊實時采集壓力傳感器的腔內壓力數據并顯示,判斷采集腔內壓力數據是否超出光腔內壓力允許范圍;算法模塊根據光腔內壓力數據發送指令給數字IO模塊進而控制電磁閥開關實現壓力調節;通過顯示單元發送控制信號給電機控制模塊進而控制腔鏡的X方向和Y方向的電機進行調節,并實時監測電機運行狀態。本發明具有實時性強、穩定性高、操作簡單、開發成本低等優點,特別適用于氧碘化學激光器的光學諧振腔中。
聲明:
“氧碘化學激光器光學諧振腔調節與監控系統及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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