本實用新型公開了一種化學研磨液氮壓的供應裝置,具體涉及半導體制造領域。該裝置主要包括骨架、操控面板、排氣裝置、化學研磨液混合供應裝置、液泵、研磨液氮壓儲存容器、壓力監測表。骨架是由不銹鋼方鋼和聚苯烯的板材焊接及機械連接而成;排氣裝置是用于釋放研磨液氮壓儲存容器的壓力,起到穩壓的作用;化學研磨液混合供應裝置是用于生產現場研磨液配比及臨時儲存;液泵用于輸送儲存在化學研磨液混合供應裝置的研磨液。本實用新型提供了一種通過壓縮氮氣產生動力的輸送裝置,解決了半導體加工時研磨液的供應流量輸出不穩定的問題,使研磨液的供應變平穩、設備故障率低、維護簡單。
聲明:
“化學研磨液氮壓的供應裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)