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化學研磨液氮壓的供應裝置

895   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:01:15
本實用新型公開了一種化學研磨液氮壓的供應裝置，具體涉及半導體制造領域。該裝置主要包括骨架、操控面板、排氣裝置、化學研磨液混合供應裝置、液泵、研磨液氮壓儲存容器、壓力監測表。骨架是由不銹鋼方鋼和聚苯烯的板材焊接及機械連接而成；排氣裝置是用于釋放研磨液氮壓儲存容器的壓力，起到穩壓的作用；化學研磨液混合供應裝置是用于生產現場研磨液配比及臨時儲存；液泵用于輸送儲存在化學研磨液混合供應裝置的研磨液。本實用新型提供了一種通過壓縮氮氣產生動力的輸送裝置，解決了半導體加工時研磨液的供應流量輸出不穩定的問題，使研磨液的供應變平穩、設備故障率低、維護簡單。
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