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常壓化學氣相沉積機臺異常監控方法及系統

1143   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:01:12
一種常壓化學氣相沉積機臺異常監控方法，包括以下步驟：對卸載傳送器進行監測；獲取處于異常位置的晶片位置狀態信息；發出控制指令自動將所述處于異常位置的晶片拾取。同時還提供了一種常壓化學氣相沉積機臺異常監控系統。上述常壓化學氣相沉積機臺異常監控方法中，通過對卸載傳送器進行監測，發現晶片處于異常位置后將其及時拾取，防止該晶片在繼續傳送過程中因位置異常而導致缺陷，同時該方法及系統可以實時監控機臺傳送系統的異常，而不需要對其進行定期保養，降低了成本。
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