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化學機械研磨設備中的金剛石修整器的修整能力識別方法

1182   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:01:12
根據本發明的化學機械研磨設備中的金剛石修整器的修整能力識別方法包括：在利用金剛石修整器對所述化學機械研磨設備的研磨墊進行一次修整后，利用所述化學機械研磨設備對多片硅片進行連續的研磨；測量所述多片硅片的研磨速度，并得出所述多片硅片速度變化的趨勢線；此后，根據所得到的趨勢線識別金剛石修整器的修整能力。根據本發明的化學機械研磨設備中的金剛石修整器的修整能力識別方法能夠快速地精確地表示實際的金剛石修整器的修整能力。
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“化學機械研磨設備中的金剛石修整器的修整能力識別方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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