一種化學氣相沉積法制備的多層石墨烯層數的確定方法,包括:在復合硅襯底上采用化學氣相沉積法制備多層石墨烯樣品或將采用化學氣相沉積法制備在非復合硅襯底上的多層石墨烯樣品轉移到復合硅襯底上;通過拉曼光譜對比確定化學氣相沉積生長的多層石墨烯樣品中的單層石墨烯區;分別測量化學氣相沉積生長的多層石墨烯區和單層石墨烯區的反射光譜,得到兩者的光學對比度實驗值;計算多層石墨烯樣品和單層石墨烯的光學對比度理論值;將光學對比度實驗值與光學對比度理論值對比,確定多層石墨烯樣品的層數。該適用于6層以內多層石墨烯樣品的層數表征,準確度高,測試方法簡單,適用于襯底表面已經大部分被化學氣相沉積生長的單層石墨烯覆蓋的情況。
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