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控制化學機械研磨時間的方法及系統

958   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:50
本發明公開了一種控制化學機械研磨時間的方法及系統,該方法應用在對化學機械研磨裝置中各個子系統的控制過程中,存儲各個子系統研磨當前晶圓的研磨時間段值,該方法還包括:分別測量各個子系統研磨當前晶圓的厚度,分別得到各個子系統研磨當前晶圓的實際厚度值;分別采用研磨當前晶圓的實際厚度值和設置的研磨當前晶圓的目標厚度值的比值計算各個子系統的Q因子值;將各個子系統的Q因子值的平均數作為Q’因子值;將Q’因子值和存儲的各個子系統研磨當前晶圓的研磨時間段值之間的乘積分別作為各個子系統研磨下一晶圓的時間段值后,提供給各個子系統執行。本發明提高了控制化學機械研磨時間的效率且比較簡單。
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聲明：
“控制化學機械研磨時間的方法及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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