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化學品分配系統

825   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:49
一種化學品分配系統能夠通過使用獨立的化學品供應管線同時供應用于生產及測試的半導體處理化學品，這會減少相關聯半導體工藝的生產停工時間，增加半導體工藝的生產量及能力，和/或類似情況。此外，同時供應用于生產及測試的半導體處理化學品的能力允許在對生產的沖擊最小的情況下增加要測試的半導體處理化學品批次的數量，這會增加對半導體處理化學品的品質控制。此外，獨立的化學品供應管線可用于在通過過濾回路獨立地過濾直接來自存儲筒的半導體處理化學品的同時為生產供應半導體處理化學品。
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化學分析
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