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具有集成傳感器的化學機械拋光保持環

833   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 07:00:46
本文中提供一種用于化學機械拋光承載頭的保持環,具有用于基板的固定表面。在一些實施方式中,該保持環可以包括具有中央開口的環形主體、被形成在該主體中的通道,其中該通道的第一端鄰近該中央開口;以及被設置在該通道內并鄰近該第一端的傳感器,其中該傳感器配置為檢測來自在該基板上進行的工藝的聲波及/或振動發射。
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