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用于檢測SF6替代氣體分解產物的亞微米薄膜傳感器

748   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:45
本發明公開了一種用于檢測SF6替代氣體分解產物的亞微米薄膜傳感器，包括傳感器基底，傳感器基底上表面為電流感應薄膜，用于輸出傳感器響應電流，傳感器基底下表面為粘合材料層，用于固定傳感器基底，電流感應薄膜上設置有氣敏探針陣列，氣敏探針陣列外部涂覆有無定型氟聚合物層，其中，傳感器基底采用聚四氟乙烯或者液態硅膠材料制成，電流感應薄膜采用金屬材料制成，通過屏蔽電纜輸出響應電流，粘合材料層為低滲透性的聚丙烯薄膜，氣敏探針陣列材料為對氟原子敏感的葉綠素，氣敏探針陣列利用等離子體化學氣相沉積法制備而成，本發明解決了現有技術中缺乏能夠精確檢測環境友好型SF6替代氣體分解組分的設備的問題。
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聲明：
“用于檢測SF6替代氣體分解產物的亞微米薄膜傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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