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用于化學氣相沉積金剛石薄膜的緊湊型真空反應裝置

1181   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:44
一種用于化學氣相沉積金剛石薄膜的緊湊型真空反應裝置。屬于金剛石薄膜的化學氣相沉積技術領域。為了解決真空條件下CVD金剛石薄膜在微刀具上的沉積問題。殼體上下端分別與上蓋和底座可拆卸密封連接構成反應室，真空計固定在上蓋上，真空計的檢測端緊密穿入上蓋設置在殼體內，上蓋上固定有與殼體內腔相通的管路，針閥固定在上蓋的管路上，針閥與管路相通，上蓋的觀察孔一處固定有觀察窗一，上蓋上設有多個冷水環槽，殼體的側壁上的兩個觀察孔二處各固定有一個觀察窗二，電磁閥固定在底座的進氣孔處，導氣管一端連接于進氣箱，另一端與反應室相通，導氣管上安裝有導氣閥門，載物臺設置在反應室內并固定在底座上。本發明主要用于對沉積件微刀具表面金剛石薄膜沉積。
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