一種芯片化學清洗控制系統,包括控制器、用以檢測稀釋罐液位的液位傳感器以及原液桶和稀釋罐連接管道上的可控閥,所述檢測稀釋罐液位的液位傳感器連接所述控制器輸入,所述控制器輸出連接原液桶和稀釋罐連接管道上的可控閥,當所述稀釋罐的液位低于預定值時,控制打開原液桶和稀釋罐連接管道上的可控閥為稀釋罐充液。本控制系統根據稀釋罐內的液量判斷是否需要開啟相應的裝置,而不是機械的按事先設定的流程將所有開關先打開,因此控制更加智能。
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