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微波等離子體化學氣相沉積裝置放取樣系統

1053   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:44
一種微波等離子體化學氣相沉積裝置放取樣系統，包括機架和升降放取機構，升降放取機構包括支撐座及置于支撐座上的支撐底板，且支撐底板與支撐座沿水平方向滑動配合；支撐底板上方還設有用于放置沉積物的石英鐘罩，實現石英鐘罩伴隨支撐底板在豎直方向上的升降；機架上還設有用于檢測石英鐘罩位置的定位裝置。該微波等離子體化學氣相沉積裝置放取樣系統，通過升降放取機構、支撐座以及與支撐座水平滑動配合的支撐底板的結構布設，使放樣、取樣過程中操作空間不再受限制，放樣、取樣過程簡單無妨礙，可有效的避免由于操作空間有限而導致損壞石英鐘罩情況的發生。
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