本發明提供了一種陽極膜修復方法、陽極結構及化學氣相沉淀設備。該陽極膜修復方法,包括以下步驟:S1、標記出陽極膜上產生電弧的待修補區域;S2、對所述待修補區域進行清洗;S3、對清洗后的所述待修補區域涂布后補保護膜層以形成優化區域;S4、對所述優化區域進行表面處理,以使得該優化區域平整;S5、對表面處理后的優化區域進行阻抗檢測;S6、若阻抗檢測不通過,則轉至步驟S3;S7、若阻抗檢測通過,則修復結束。本發明通過采用后補保護膜層涂布到電弧產生的區域可以對陽極結構進行修復,并且可以降低成本。
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