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NO2化學電阻式氣體傳感器及其制備方法

926   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:58:59
本發明涉及一種NO2化學電阻式氣體傳感器，包括自下而上依次設置的基底、絕緣層、表面修飾層、活性敏感層以及源漏電極，表面修飾層的材質為含端氨基的硅烷化合物，含端氨基的硅烷化合物的分子式為H2N?(CH2)n?SiCl3，H2N?(CH2)n?Si(OCH3)3或H2N?(CH2)n?Si(OC2H5)3，其中，n＝3?18，活性敏感層的材質為有機半導體。本發明還提供了一種上述NO2化學電阻式氣體傳感器的制備方法：在基底表面形成平整的絕緣層，然后使含端氨基的硅烷化合物在絕緣層表面進行自組裝，形成表面修飾層；在表面修飾層上沉積活性敏感層，在活性敏感層上沉積源漏電極，形成NO2化學電阻式氣體傳感器。本發明的氣體傳感器對NO2表現出快速的響應和快速的回復特點，響應靈敏度很高，最低檢測限可以達到ppb級別。
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