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化學機械研磨模擬方法

1034   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:58:11
本發明公開了一種化學機械研磨模擬方法，包括建立化學機械研磨模型，并格式化為與化學機械研磨結果對應的線寬對數?密度矩陣表格，對版圖進行窗格劃分，將每個窗格版圖的等效線寬、密度轉換為模型表格中的線寬對數?密度坐標，根據每個窗格在模型表格中的坐標位置和與其相鄰的表格交點所對應的化學機械研磨結果，計算出每個窗格初步的化學機械研磨模擬結果，并考慮版圖上周圍窗格對當前窗格的影響，根據相關的權重因子，計算出每個窗格最終的化學機械研磨模擬結果并輸出；可在保證產品模擬預測結果準確性的基礎上，大幅提升對化學機械研磨工藝的模擬速度，及時檢查出化學機械研磨工藝設計熱點，縮短產品生產周期。
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聲明：
“化學機械研磨模擬方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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化學分析
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