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扭矩終點的檢測方法及檢測裝置

1183   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:58:11
本發明公開了一種扭矩終點的檢測方法及檢測裝置，其中，方法包括：在對晶圓進行機械化學拋光時，判斷是否進入第一預設時刻；如果是，則每間隔預設時間連續采集多組扭矩值，每組扭矩值包括至少一個扭矩值，并獲取每組扭矩值的扭矩均值；判斷扭矩均值與下一組扭矩值中首個扭矩值之間的絕對誤差是否小于第一預設值；如果是，則得到電機扭矩值最大時刻，并判斷與扭矩均值相鄰的兩組扭矩值的扭矩均值之差是否大于第二預設值；如果是，或者當前時間與電機扭矩值最大時刻之差大于保護時間，則結束終點監控。該方法可以進一步彌補當前扭矩終點檢測方式存在的固有缺陷，提高了終點檢測精準度，拓寬了相應的制程窗口。
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