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用于確定化學元素濃度并控制半導體工藝的熱磷酸的自動采樣

812   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:57:48
描述了用于確定化學元素濃度和控制半導體工藝的樣品的自動采樣系統和方法。一個系統的實施例包括被配置為在第一位置收集磷酸樣品的遠程采樣系統，所述遠程采樣系統包括遠程閥，所述遠程閥具有與其耦合的保持環；以及被配置為用于定位在遠離所述第一位置的第二位置的分析系統，所述分析系統經由輸送管線耦合到遠程閥，所述分析系統包括被配置為確定磷酸樣品的一個或多個成分濃度的分析設備，并且包括被配置為將樣品從保持環引入輸送管線以利用分析設備進行分析的第二位置處的樣品泵。
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“用于確定化學元素濃度并控制半導體工藝的熱磷酸的自動采樣” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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