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修復晶圓鎢連接層表面亞穩態化學鍵的方法

739   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:57:48
本發明提供一種修復晶圓鎢連接層表面亞穩態化學鍵的方法，包括以下步驟：將離子溶液和表面上具有亞穩態化學鍵的晶圓相接觸，使離子溶液中的離子吸附到晶圓表面的亞穩態化學鍵上。本提供的方法可以應用于修復鎢連接層表面由于電子束缺陷掃描儀掃描產生的亞穩態化學鍵，從而可以應用常規的清洗手段（去離子水清洗或刷洗等）去除做過在線失效分析引入的顆粒缺陷，避免其對良率造成的損失。
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聲明：
“修復晶圓鎢連接層表面亞穩態化學鍵的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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