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化學機械拋光墊的制造方法及其產品和模具

758   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:57:44
本發明提供了一種化學機械拋光墊的制造方法，和其制造的帶有終點檢測窗口的化學機械拋光墊，及配合使用的單片或多片組合式澆注模具。本工藝中，將成型好且為固體的終點檢測窗口利用一次性一體化澆注成型工藝包埋嵌合于化學機械拋光墊拋光層中，從而直接制得牢固粘結有窗口的拋光層拋光層。利用單片或多片組合式澆注模具，對每片帶窗口的拋光層的澆注工藝參數控制精確，所得產品拋光墊本體具有優異的密度分布、空穴率和空穴大小的均勻性，進而取得了拋光墊整體的工藝和質量穩定性。所得產品的窗口與拋光層本體的接觸面在物理和化學的雙重作用下進行粘合，粘合效果極佳，消除了使用過程中接觸面裂縫而致的滲漏現象。因此，具有顯著的實際推廣價值。
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