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化學氣相沉積設備及其控制方法和控制裝置

1209   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:56:06
本發明涉及一種化學氣相沉積設備及其控制方法和控制裝置，所述控制方法包括：調節所述化學氣相沉積設備的內部壓強至外界大氣壓強；檢測是否發出放料信號；根據檢測到的放料信號打開所述化學氣相沉積設備的大氣端隔離門；通過所述大氣端隔離門進行放料操作。本發明的控制方法，在打開所述化學氣相沉積設備的大氣端隔離門前會檢測是否發出放料信號，當檢測到放料信號后，打開所述大氣端隔離門，可以避免在無法進行放料操作時，由于長時間打開所述大氣端隔離門，而使得所述玻璃基板發生電性缺陷超規異常的現象。
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