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樣品制備方法、樣品檢測方法及樣品檢測系統

986   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:55:33
本申請公開了一種樣品制備方法、樣品檢測方法及樣品檢測系統。該樣品制備方法包括：制備初級結構，初級結構包括待檢測薄膜以及覆蓋在待檢測薄膜的雙側表面的保護層；在反應室中，采用反應物去除保護層，以獲得待檢測結構；以及將待檢測結構從反應室轉移至用于測試待檢測結構的樣品分析室，樣品分析室中不包括與待檢測結構發生化學反應的物質。該樣品制備方法有利于提高樣品質量，從而有利于樣品測試。
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聲明：
“樣品制備方法、樣品檢測方法及樣品檢測系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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