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沾污檢測系統及檢測方法

981   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:55:31
本發明公開一種沾污檢測系統及檢測方法，包括：激光剝蝕機，對樣品表面進行剝蝕，并將沾污以氣溶膠形式提供給電感耦合等離子體質譜儀，或者化學液溶解單元；化學液溶解單元，利用腐蝕性液體溶解并收集所述激光剝蝕機所剝蝕的表面沾污，并將其濃縮于一個液體樣品；電感耦合等離子體質譜儀，通過中央控制單元切換并選擇進樣，直接測出激光剝蝕機提供的氣溶膠，或者測出濃縮液體樣品；以及中央控制單元，對系統進行總括控制并以氣溶膠做實時沾污分析或以液體樣品做總沾污分析。該系統能夠兼顧低檢測底線的定量分析(液體樣品)和圖譜式的整個晶圓沾污分布分析(氣溶膠)，功能強大但成本低廉。
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