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飛秒激光預解離裝置及化學氣相沉積設備

954   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:55:31
本發明涉及化學氣相沉積技術領域，提供了一種飛秒激光預解離裝置，包括飛秒激光解離模塊以及高里德堡原子檢測模塊，所述飛秒激光解離模塊與所述高里德堡原子檢測模塊通過第一管道連通，所述第一管道安設有閥門。還提供一種化學氣相沉積設備，包括反應氣體供給源、反應腔以及上述的一種飛秒激光預解離裝置。本發明通過飛秒激光解離模塊預先將反應氣體催化解離，使之在進入反應腔前就解離為CH2或CH，可極大提高生產效率且減少對空氣的污染，同時通過高里德堡原子檢測模塊分析H2、CH3、CH2或CH等氣體的成分，并將其反饋至飛秒激光解離模塊，供飛秒激光解離模塊實時調整優化功率密度和時域分布，可更好地控制催化反應的進程。
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“飛秒激光預解離裝置及化學氣相沉積設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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