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用于生化檢測的MOSFET型微薄膜傳感器、檢測系統與檢測方法

968   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:55:31
本發明提供一種用于生化檢測的MOSFET型微薄膜傳感器、檢測系統與檢測方法，包括基底、設置在基底上的鏤空部分、位于鏤空部分內的微薄膜、四個支撐微懸臂梁、支撐微懸臂梁上的MOSFET輸出結構；四個支撐微懸臂梁相互對稱設置，其一端與微薄膜相連，另一端與外部基底相連后固定，四個支撐微懸臂梁上的MOSEFET輸出結構為一對對稱設置的PMOS結構以及一對對稱設置的NMOS結構。本發明使用方便，傳感器抗干擾能力強，能夠保證測量精度；傳感器可采用MEMS加工制作，成本低廉，且能夠保證傳感器具有良好的一致性；該傳感器及相應的檢測系統通用性強，可用于生物醫學、化學、食品安全、環境污染等領域中的檢測和監控。
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