本發明利用微機電系統(MEMS)工藝及封裝技術,以制造出具有多種離子感測功能的血液分析微系統。該血液分析微系統具有一集成化微型的參考電極,故芯片尺寸可非常微小化;且具有比平面式離子選擇電極(Planar?ISE)或離子感測場效應晶體管(ISFET)更大的柵極感測區,可以有效避免不必要的信號干擾、降低封裝困難及液體滲漏的機率。因此,該血液分析微系統具有成品輕薄短小、反應速度快、精密度高、成本較低及與IC工藝兼容性高的優點,并且具有長期電位穩定度極高、補偏電位極低、交流阻抗小、動態參考電位穩定、電化學噪聲低、電極的再現性高等優秀的電化學特性。
聲明:
“血液分析微系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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