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電化學測量微電極結構及其制作方法

916   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 06:49:09
本發明公開一種電化學測量微電極結構及其制作方法,該微電極結構包括:絕緣基底、電極、導電線和絕緣保護層,所述電極和所述導電線設于所述絕緣基底的上方,所述電極和所述導電線相連接,所述絕緣保護層覆蓋于所述電極和所述導電線上方;所述絕緣基底上設有若干不連續的空孔,所述若干空孔對應所述電極的位置設置,每一所述空孔均連通至所述電極,其中一個空孔或多個空孔內形成近電極控制部。本發明的電化學測量微電極結構能按需靈活定制微電極電極有效尺度,并維持電極露于空孔或近電極控制部中的材料表面特征,實現微電極的更廣泛的材質選用和更豐富的表面狀態。本發明的電化學測量微電極結構設計靈活,制作方法易于構建,易于批量生產。
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