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測量化學氣相沉積爐原料蒸發量的裝置和方法

755   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:47:33
本發明提供了一種測量化學氣相沉積爐的原料蒸發量的裝置，包括，浮力裝置、軸絲、卷繞裝置和可實時顯示的計量器組成；所述浮力裝置置于化學氣相沉積爐內的固體原料頂部，所述浮力裝置與所述軸絲的一端相連接；所述軸絲的另一端與所述卷繞裝置相連接，所述卷繞裝置固定在化學氣相沉積爐內的固體原料上方；所述卷繞裝置的軸心與所述可實時顯示的計量器相連接。本發明提供的測量裝置能夠實時監測和控制原料的蒸發量，具有較高的精確度。尤其是在高溫、真空等密閉條件下，本發明采用軸絲式測量，減小了溫度對部件熱膨脹的影響，而且本發明的連接方式，在實際的使用過程中具有較好的安全性，也不會影響化學氣相沉積爐對高氣密性的要求。
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“測量化學氣相沉積爐原料蒸發量的裝置和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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