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化學氣相沉積設備的紅外輻射測溫校準裝置

759   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:46:32
本實用新型公開了一種化學氣相沉積設備的紅外輻射測溫校準裝置，校準裝置的可以透光的光學檢測孔設置在噴淋盤中，紅外輻射溫度測試儀與設置在噴淋盤中的光學檢測孔對應設置，光纖或光線束通過黑體爐端夾具和檢測孔端夾具固定并連接在黑體爐和光學檢測孔之間。通過光纖或光纖束將黑體爐的紅外輻射引入金屬有機物化學氣相沉積設備的噴淋盤的光學檢測口，對噴淋盤上方的紅外輻射測溫儀進行在線標定校準。本實用新型結構簡單，可消除由于紅外輻射測溫儀系統本身的系統誤差、裝配因素導致的溫度差異，使各個紅外輻射測溫儀測試的相對溫度更為準確，以便載片盤表面的溫度均勻性調節。解決了金屬有機物化學氣相沉積設備的溫度校準難題。
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