合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> 化學氣相沉積工藝腔室及其清洗終點監測方法

化學氣相沉積工藝腔室及其清洗終點監測方法

720   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:46:32
本發明提供一種化學氣相沉積工藝腔室及其清洗終點監測方法，通過在化學氣相沉積工藝腔室的四周和底部的內壁上分別內嵌一個石英晶震片，將石英晶震片的電極鍍膜層與化學氣相沉積工藝腔室的內部連通；頻率檢測器用以檢測石英晶震片的頻率，并將頻率檢測器所測得的頻率上傳到控制器，所述控制器根據頻率監測器所測得的頻率變化實時監測化學氣相沉積工藝腔室的內壁堆積膜層的厚度的變化以判斷清洗終點。利用本發明對清洗終點進行監測，所得結果準確無誤，保證了化學氣相沉積工藝腔室的清潔度和產品良率。
登錄解鎖全文
聲明：
“化學氣相沉積工藝腔室及其清洗終點監測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：化學儲能柜消防監測裝置及其工作方法
下一個：基于光催化電極材料制備方法及其電化學測試方法

與 “化學氣相沉積工藝腔室及其清洗終點監測方法” 相關技術

? 氣動式深海采礦顆粒旋轉發射裝置
? 傾斜中厚破碎礦體中深孔采礦方法
? 用于采空區充填的均勻充填下料裝置
? 跟隨采礦工作面上升的裝配式天井構筑方法
? 高應力破碎礦體盤區梯段卸壓與中深孔充填一體化采礦法
? 月基取芯探礦原位隨鉆實時發電裝置
? 基于AI探礦技術的遙感勘測圖像處理系統
? 深部巖體鉆探大曲率軌跡控制方法、裝置及存儲介質
? 應用于DCB覆銅陶瓷基板生產用的節能均溫開式燒結爐
? 基于MAX相增強銅基復合材料的方法

相關化學分析設備推薦

扭矩強度檢測儀
便攜式超聲波明渠流量計
超聲波探傷儀
高精度電子布氏硬度計
手持式工業硅光譜分析儀
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?氣動式深海采礦顆粒旋轉發射裝置
?傾斜中厚破碎礦體中深孔采礦方法
?用于采空區充填的均勻充填下料裝置
?跟隨采礦工作面上升的裝配式天井構筑方法
?高應力破碎礦體盤區梯段卸壓與中深孔充填一體化采礦法
?月基取芯探礦原位隨鉆實時發電裝置
?基于AI探礦技術的遙感勘測圖像處理系統
?深部巖體鉆探大曲率軌跡控制方法、裝置及存儲介質
?應用于DCB覆銅陶瓷基板生產用的節能均溫開式燒結爐
?基于MAX相增強銅基復合材料的方法

報名參會
更多+

第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
2025年07月09日 ~ 11日
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國稀有&貴金屬礦冶技術交流會
2025全國稀有&貴金屬礦冶技術交流會
2025年07月17日 ~ 19日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:138
2 取、制樣安全淺析
下載:130
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:106
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:98
5 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:94
6 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:94
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:92
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:90
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:89
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:88
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX