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MEMS電化學地震檢波器敏感電極芯片及其制造方法

1142   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:46:30
本發明提供了一種MEMS電化學地震檢波器敏感電極芯片及其制造方法，該電極芯片包括一個支撐基板、在該支撐基板的至少一個表面依次排列的N層電極層和位于相鄰兩個電極層之間的N?1層絕緣間隔層，M個電極層通孔(31)、M個絕緣間隔層通孔(32)以及M個支撐基板通孔(33)的位置正對，形成電解質溶液的流經通道，該敏感電極的所有絕緣間隔層與電極層集成在同一個硅片上，結構簡單，提高了層間對齊精度，簡化了加工工藝；絕緣間隔層的厚度可控制為幾微米到上百微米，有利于器件性能的調整和優化，電極層與電解質溶液接觸的面積大大增加，提高了單片集成式一體化敏感電極芯片的靈敏度。
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“MEMS電化學地震檢波器敏感電極芯片及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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