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基于MEMS的三軸一體化電化學地震檢波器

815   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:46:29
本發明公開了一種一種基于MEMS的三軸一體化電化學地震檢波器，包括：外殼，為正六面體；橡膠膜，分別覆蓋在所述外殼的各個表面，且分別與各面形成容納空間；第一流道、第二流道、第三流道，為互相垂直且垂直貫穿所述外殼表面的流道；敏感電極，分別置于所述第一流道、第二流道和第三流道內；電解質溶液，分別充滿于所述第一流道、第二流道和第三流道與各所述容納空間形成的密封腔內。本發明采用了全新的結構設計，使其更精確保證了三個軸向間的正交性；并且不需要輔助結構，減小了檢波器的體積和重量，同時可使得在相同體積的檢波器中實現更長長度的流道，提升了檢波器的低頻性能。
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聲明：
“基于MEMS的三軸一體化電化學地震檢波器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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