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檢測源極多晶硅經化學機械研磨后表面異常的方法

824   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:42:49
一種檢測源極多晶硅經化學機械研磨后表面異常的方法，采用KT電子掃描顯微鏡對源極多晶硅經化學機械研磨后的表面進行檢測，KT電子掃描顯微鏡持續發射原生入射電子對源極多晶硅表面進行掃描，源極多晶硅表面的價電子被激發，形成二次電子，然后KT電子掃描顯微鏡偵測源極多晶硅表面被激發出的二次電子并成像，異常表面的成像亮度大于正常表面的成像亮度。本發明能夠簡單有效地檢測到源極多晶硅的表面異常，降低了晶片受損的可能性。
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“檢測源極多晶硅經化學機械研磨后表面異常的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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