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活性金屬氧化物磨粒與金剛石晶圓襯底界面摩擦化學反應的檢測方法

1137   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:42:49
本發明公開了一種活性金屬氧化物磨粒與金剛石晶圓襯底界面摩擦化學反應的檢測方法，通過磁控濺射法，在納米壓痕劃痕儀用的金剛石壓頭表面包覆一層厚度均勻可控的活性金屬氧化物磨粒殼層，通過與金剛石晶圓襯底的劃擦實驗來控制活性金屬氧化物磨粒與晶圓之間的界面作用關系，再通過掃描探針顯微拉曼光譜儀對金剛石晶圓襯底表面的相互作用區域進行化學成分檢測，從而明確活性金屬氧化物磨粒與晶圓襯底的界面摩擦化學反應機理，其操作簡單，在半導體晶圓襯底的高效超精密加工領域具有良好的應用前景。
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