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電化學拋光終點檢測裝置及方法

867   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:42:48
本發明揭示了一種電化學拋光終點檢測裝置，包括晶圓夾盤、拋光噴頭、拋光噴頭致動器、測量探頭、測量探頭致動器及控制模塊。晶圓夾盤夾持晶圓，晶圓夾盤帶動晶圓旋轉。拋光噴頭向晶圓夾盤上的晶圓表面噴射拋光液。拋光噴頭致動器驅動拋光噴頭在晶圓表面上方水平移動。測量探頭測量拋光后晶圓表面的金屬層膜厚值。測量探頭致動器驅動測量探頭在晶圓表面上方水平移動?？刂颇K根據測量探頭測量的金屬層膜厚值判斷是否達到拋光終點。在同一時刻，拋光噴頭與測量探頭均在以晶圓的中心為圓心的同一半徑圓上。本發明還揭示了一種電化學拋光終點檢測方法。
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