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化學機械研磨及其終點檢測方法

1149   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:38:41
一種化學機械研磨方法,包括:確定檢測參數;執行主研磨操作,獲得所述檢測參數的變化率與時間的函數關系;在所述檢測參數的變化率取極值之時或之后,執行過研磨操作?？蓽蚀_地確定過研磨操作的基點,提高晶片之間研磨的均勻性。一種化學機械研磨終點檢測方法,包括:確定檢測參數;在主研磨過程中,獲得所述檢測參數的變化率與時間的函數關系;確定所述變化率的極值和過研磨操作持續時間;所述變化率取極值之時或之后,再經歷所述過研磨操作持續時間到達研磨終點?？蓽蚀_地確定主研磨操作的終點,繼而準確地確定過研磨操作的基點,以提高晶片之間研磨的均勻性。
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