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化學機械研磨的拋光墊圖像檢測系統及方法

947   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:38:41
本發明提供了一種化學機械研磨的拋光墊圖像檢測系統及方法?；瘜W機械研磨的拋光墊圖像檢測系統包括：圖像采集裝置及圖像對比處理裝置。通過對比待檢測拋光墊的表面形貌圖像與對應的目標拋光墊表面形貌圖像，確定并修復待檢測拋光墊的表面缺陷。本發明提供的化學機械研磨的拋光墊圖像檢測系統及方法提高了拋光墊表面缺陷檢測的效率和準確性，降低晶圓出現刮傷報廢的風險，改善了晶圓良品率。
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“化學機械研磨的拋光墊圖像檢測系統及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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