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一種硅基發光二極管的制備方法

1105   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:32:52
本發明公開了一種硅基發光二極管的制備方法,其包括以下步驟:S1:制備鉺硅氧溶膠;S2:在p型摻雜的硅基體上涂敷所述鉺硅氧溶膠,制備鉺硅酸鹽無機化合物與富硅氧化硅混合物薄膜作為本征層;S3:在p型摻雜的硅基體上沉積一層磷摻雜的硅材料制作n型電極,形成硅基發光二極管。本發明通過制備鉺硅酸鹽無機化合物與富硅氧化硅混合物薄膜作為硅基發光二極管的本征層,將鉺硅酸鹽無機化合物中鉺離子濃度提高1-2個數量級,富硅氧化硅中納米硅和鉺離子之間的高效能量傳遞效率可以實現電致發光,從而實現發光二極管獲得強的通信波段1.53μm的電致發光。
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聲明：
“一種硅基發光二極管的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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