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用計算機控制的等離子體源離子滲氮工藝及設備

954   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:32:27
材料表面改性領域中,用計算機控制的等離子體源離子滲氮工藝及設備,包括升溫、保溫、降溫及離子注滲工藝過程和供電系統、供氣系統、抽真空系統與主真空室所構成的設備,特征是采用自加熱式加熱工件,通過計算機自動控制正負脈沖對的重復頻率、各自的占空比與幅值來實現對工件溫度的控制,使之按設定的滲氮溫度曲線變化,優點:簡化設備,降低能耗40%,過程完全自動化,工藝穩定,不打火,不起弧,不引起工件退火,安全可靠,重復性好。
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