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一種基于電容法測量氣膜間隙內氣體密度的測試裝置

1169   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:30:35
本實用新型涉及一種基于電容法測量氣膜間隙內氣體密度的測試裝置，屬于精密設備性能檢測領域。本實用新型包括隔振平臺、大理石支撐臺面、空氣靜壓軸承Ⅰ、空氣靜壓軸承Ⅱ、壓力傳感器、傳感器支架、微位移傳感器、支架、氣缸、節流閥、空氣靜壓軸承進氣管、壓力調節閥、壓力表和空氣壓縮機。本實用新型裝置簡單，只需要額外添加微位移傳感器、電容測量儀以及微力傳感器；模型簡化，容易理解，數據處理量小，簡單方便；便于實現不同的氣膜厚度的調節，通過氣膜厚度變化對電容的影響，從而利用所測得的電容變化計算出氣膜間隙內氣體密度，可通過多次測試將氣膜間隙內氣體密度測量出來，可靠性高且易于實現；儀器應用普遍，成本低。
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“一種基于電容法測量氣膜間隙內氣體密度的測試裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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