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鈣鈦礦薄膜的蒸發設備

870   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-17 00:30:01
本實用新型涉及一種鈣鈦礦薄膜的蒸發設備，包括分開設置的蒸發系統和沉積系統，蒸發系統和沉積系統通過蒸汽通道相互連通，蒸發系統包括沉積腔體，在沉積腔體內設置有放置待沉積基板的沉積支架，在沉積腔體的蒸汽通道進入口與待沉積基板之間設置有網篩，在網篩上設置有多個便于蒸汽通過的通孔，蒸發系統蒸發的蒸汽通過蒸汽通道進入沉積腔體，并經過網篩的通孔后均勻地分布在待沉積基板的表面上。本實用新型將蒸發系統和沉積系統分置于不同的腔室，且可以單獨控制蒸發系統和基板所在沉積系統的腔室溫度。另一方面，在沉積腔體里設置了網篩，使進入沉積腔體的蒸汽均勻分布，使每個基板接觸到的氣流相同，改善了成膜質量。
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“鈣鈦礦薄膜的蒸發設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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