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行波管用微型濺射離子泵的抽速裝置及其抽速測試方法

719   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:28:46
本發明公開了一種行波管用微型濺射離子泵的抽速裝置及其抽速測定方法，本發明所述的行波管用微型濺射離子泵的抽速裝置，結構設計合理，操作方便，測量結果準確。本發明提供的微型濺射離子泵的抽速測定方法，可操作性強，計算結果準確，可快速準確的測定行波管用微型濺射離子泵的抽速，本發明可在1×10-3～1×10-4Pa壓力下，測試氣體為氮氣時，對微型濺射離子泵的抽速的測定范圍為1～8L/s，可為微型濺射離子泵的性能檢測提供科學依據。
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