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一種含有自檢測功能的面內壓阻式加速度傳感器及其制造方法

953   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:28:44
本發明提供了一種含有自檢測功能的面內壓阻式加速度傳感器，基于SOI晶圓制作，所述的SOI晶圓依次設置有襯底、中間氧化層、器件層，采用側面摻雜，在加速度傳感器的部分懸臂梁側壁形成壓阻條，部分懸臂梁側壁形成自檢測電極；側壁形成的壓阻條可以減小軸向串擾，自檢測的方式是利用靜電力模擬加速度輸入引起的加速度傳感器懸臂梁產生的形變，從而檢測加速度傳感器的性能，檢測方式完全與IC檢測探針臺兼容。采用正面釋放加速度傳感器，加工一致性高，器件面積小。本發明還提供了一種含有自檢測功能的面內壓阻式加速度傳感器的制作方法，實現可以進行晶圓級自檢測的面內壓阻式加速度傳感器的結構與加工工藝。
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“一種含有自檢測功能的面內壓阻式加速度傳感器及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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