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一種微型面發射光電芯片陣列光電性能巨量檢測系統

1129   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:28:43
本實用新型公開了一種微型面發射光電芯片陣列光電性能巨量檢測系統，用于呈一定間距分布的面發射光電芯片陣列的光電性能檢測，包括轉移驅動裝置、轉移頭、襯底放置臺、檢測電路基板、芯片放置臺、光學探測器，所述襯底放置臺、檢測電路基板、芯片放置臺依次排列于所述轉移驅動裝置的同一側，所述轉移頭固定安裝于轉移驅動裝置的移動執行端，并在襯底放置臺和芯片放置臺之間的上方往返移動，所述光學探測器位于檢測電路基板的正下方。本實用新型可實現微型面發射光電芯片組在巨量轉移過程中同時實現光電性能的巨量同步檢測，檢測效率高，適用于微型面發射光電芯片，如微型LED芯片或小型LED芯片的光電性能巨量檢測。
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“一種微型面發射光電芯片陣列光電性能巨量檢測系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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