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一種微型面發射光電芯片陣列光電性能巨量檢測系統及其方法

919   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:26:14
本發明公開了一種微型面發射光電芯片陣列光電性能巨量檢測系統及其方法，該系統包括轉移驅動裝置、轉移頭、襯底放置臺、檢測電路基板、芯片放置臺、光學探測器，襯底放置臺、檢測電路基板、芯片放置臺依次排列于所述轉移驅動裝置的同一側，轉移頭固定安裝于轉移驅動裝置上，光學探測器位于檢測電路基板的正下方。該方法包括以下步驟：S1放置芯片陣列；S2負壓吸附芯片；S3芯片檢測就位；S4光電性能檢測；S5芯片轉移釋放；S6循環拾取及檢測。本發明可實現微型面發射光電芯片組在巨量轉移過程中同時實現光電性能的巨量同步檢測，檢測效率高，適用于微型面發射光電芯片，如微型LED芯片或小型LED芯片的光電性能巨量檢測。
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