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一種半導體質量檢測裝置及方法

739   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:25:54
本發明適用于半導體生產相關領域，提供了一種半導體質量檢測裝置及方法，所述裝置包括上料帶、轉移機構、視覺檢測設備和性能檢測機構。上料帶將半導體元器件傳送至轉移機構上，視覺檢測設備對半導體元器件的外觀進行檢測之后，轉移機構繼續將半導體元器件傳送至性能檢測機構所在的位置，性能檢測機構對半導體元器件的通電性能進行檢測，經過兩次質檢，質檢出外觀不合格或者性能不合格的產品，將不合格件和合格件分揀到不同的盛放容器中。該裝置能夠連續自主的對抽檢的樣品進行質檢，質檢效率高，可以在與人工質檢時間相同的情況下質檢更多的樣品，使得抽檢數量與整批產品數量相匹配，達到統計學抽樣調查的基準。
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“一種半導體質量檢測裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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