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一種晶圓電性能檢測設備

1125   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:23:56
本申請涉及晶圓檢測的技術領域，尤其是公開了一種晶圓電性能檢測設備，包括安裝平臺、設置在所述安裝平臺上的存儲工位和檢測工位，所述安裝平臺上還設有移載裝置，所述移載裝置將待測晶圓從所述存儲工位轉運至所述檢測工位，并在檢測完成后運回所述存儲工位。本申請通過移載裝置實現了晶圓在存儲工位和檢測工位之間的來回轉移，檢測工位自動檢測晶圓的電性能參數，最終實現了晶圓的自動上下料、對準、檢測和標記等工序，檢測快速高效，便于篩選不良品，檢測結果準確。
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聲明：
“一種晶圓電性能檢測設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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標簽：
物理檢測
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