本發明提出一種集成梳狀靜電預加載的微納材料力學性能檢測結構,包括后屈曲式微力檢測結構和集成梳狀靜電式預加載結構,其中,集成梳狀靜電式預加載結構在其內部成對的集成梳狀結構上加載電壓后能夠利用靜電作用力引發變形以實施預加載,當集成梳狀靜電式預加載結構未實施預加載時,后屈曲式微力檢測結構處于無加載狀態,當集成梳狀靜電式預加載結構實施預加載時,后屈曲式微力檢測結構被軸向壓縮,處于預加載屈曲平衡狀態,然后后屈曲式微力檢測結構受到試件的軸向微力作用,使后屈曲式微力檢測結構發生放大的橫向結構變化,從而實現微力檢測。本發明具有尺寸小、穩定可靠,可重復使用,對軸向微力敏感,力分辨率高,橫向變形可控制等優點。
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